压接式IGBT封装技术研究
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压接式IGBT模块具有通流能力大、无焊接点、无引线、低热阻、失效短路等特点,可广泛的应用于高压直流输电系统、铁路牵引、风力发电、高压大功率工业装备驱动等诸多领域。压接式IGBT模块在封装结构上与焊接式IGBT模块存在的差异使得压接式IGBT模块的封装工艺和实现方式上也完全不同于焊接式IGBT模块。本文首先以压接式IGBT样管为基础,通过Comsol仿真介绍了器件在无公差下力场和热力耦合后器件的受力分布,并着重分析芯片在两个物理场形变、应力、接触压力的变化过程;通过ANSYS仿真介绍了器件在压力场下不同公差组件对芯片接触压力的影响,并得出在外圈子模组大钼片增高6μm下,中心芯片接触压力为0N。为了提高器件内部压力一致性,需要求器件封装后整体公差在6μm以内。其次,压接式IGBT组件较多,由组件间各个接触层引入的接触热阻占器件整体热阻比重较大。因此,降低器件接触热阻对器件散热非常关键。本文通过应用纳米银烧结技术对芯片和大钼片烧结,并通过热阻测试验证了烧结减少器件热阻的有效性。将测试条件设为仿真边界,通过Comsol仿真得到每个接触层的接触热阻大小。最后,对比器件在不同结构下芯片接触压力的分布,提出一种提高芯片均压的方法,并通过仿真得以验证。
摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6页 |
第1章 绪论 | 第9-17页 |
1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
1.2 压接型IGBT国内外研究现状 | 第10-16页 |
1.2.1 国内研究现状 | 第10页 |
1.2.2 国外发展现状 | 第10-16页 |
1.3 本课题的主要研究内容 | 第16-17页 |
第2章 基于压接型IGBT样管的受力分析 | 第17-29页 |
2.1 焊接IGBT与压接式IGBT封装流程对比分析 | 第17-18页 |
2.2 仿真软件的简介 | 第18页 |
2.3 仿真模型 | 第18-20页 |
2.3.1 芯片编号 | 第19-20页 |
2.3.2 截面抽取 | 第20页 |
2.3.3 截线抽取 | 第20页 |
2.4 组件无公差下器件的受力分布 | 第20-26页 |
2.4.1 标准压力下器件的压力分布 | 第21-22页 |
2.4.2 热力耦合下器件的压力分布 | 第22-23页 |
2.4.3 力场与热力耦合场芯片对比分析 | 第23-26页 |
2.5 组件有公差且在力场下的受力分析 | 第26-28页 |
2.5.1 公差来源介绍 | 第26页 |
2.5.2 单模组大钼片增高1μm、5μm、10μm芯片的压力分布 | 第26-27页 |
2.5.3 外圈模组大钼片增高6μm芯片的压力分布 | 第27-28页 |
2.6 本章小结 | 第28-29页 |
第3章 基于单凸台烧结与不烧结FRD热阻对比分析 | 第29-47页 |
3.1 热能传递原理 | 第29-30页 |
3.2 压接式IGBT热阻介绍及其结构图 | 第30-33页 |
3.2.1 器件封装热阻介绍 | 第30-32页 |
3.2.2 压接式IGBT热阻结构图 | 第32-33页 |
3.3 结到壳热阻测试方法 | 第33-36页 |
3.3.1 传统热电偶法 | 第33-35页 |
3.3.2 瞬态双界面测试法 | 第35-36页 |
3.4 纳米银烧结技术 | 第36-42页 |
3.4.1 烧结原理 | 第36-37页 |
3.4.2 纳米银焊膏简介 | 第37-38页 |
3.4.3 芯片与钼片的烧结工艺 | 第38-41页 |
3.4.4 烧结注意事项 | 第41-42页 |
3.5 FRD模组热阻测试 | 第42-45页 |
3.5.1 热阻测试设备介绍 | 第42-43页 |
3.5.2 单凸台FRD模组热阻结构 | 第43-44页 |
3.5.3 烧结与不烧结FRD模组热阻测试及结果分析 | 第44-45页 |
3.6 单凸台FRD热阻计算及仿真分析 | 第45-46页 |
3.7 本章小结 | 第46-47页 |
第4章 样管内部芯片均压优化 | 第47-51页 |
4.1 不同IGBT结构类型芯片受力对比分析 | 第47-49页 |
4.1.1 正方形结构IGBT | 第47-48页 |
4.1.2 长方形结构IGBT | 第48-49页 |
4.2 中心区域大钼片增高1μm | 第49-50页 |
4.3 本章小结 | 第50-51页 |
第5章 总结与展望 | 第51-52页 |
5.1 结论 | 第51页 |
5.2 展望 | 第51-52页 |
参考文献 | 第52-56页 |
致谢 | 第56页 |
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