NAND闪存芯片封装技术与可靠性研究

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芯片堆叠封装技术是实现NAND存储器的高容量和薄型化的理想解决方案,它能够满足市场对存储器小型化和便携式的要求。但其进一步的发展却受到很多因素的制约,其中最突出的就是针对多层NAND芯片封装的结构设计,封装工艺的良品率和可靠性问题。这些问题已经对我国NAND芯片产业的进一步发展构成了瓶颈制约,并引起了国内整个行业的普遍关注。因此,迅速并有效的解决这些问题,不仅可以将极大的提升我国NAND芯片封装技术能力,也将为我国封装产业带来极大的经济价值。本文立足于我国NAND封装技术的实际能力,在认真调研国内封装技术和工艺能力的基础上,提出一种八层NAND芯片的封装结构,设计了相关的工艺加工和可靠性方案,并进一步提出优化方案,争取为我国NAND封装技术的发展做出一些贡献。本论文的主要工作有:1.提出一种新型八层NAND芯片的LFBGA封装结构。本文参考JEDEC对封装器件的求,在长为20mm,宽为16mm,封装高度为0.9mm的封装尺寸内实现八层NAND芯片的结构设计。2.提出八层NAND芯片LFBGA封装的工艺方案。在初步设计工艺方案后,针对NAND封装工艺中出现的芯片裂纹(Die Crack),芯片碎裂(Chipping)以及引线键合失效(Bond Lift)等缺陷运用试验设计方法DOE (Design of Experiment)研究,对相关工艺参数,材料进行统计分析,找出最佳方案以提高良品率,降低封装成本,从而提高我国封装企业的市场竞争力。3.提出针对八层NAND芯片封装出现的可靠性优化方案。运用试验设计方法DOE对八层NAND芯片封装中出现的柯肯达尔(Kirkendall)空洞与封装分层可靠性进行优化,提高产品的可靠性。
摘要第4-5页
Abstract第5页
第一章 绪论第6-15页
    第一节 引言第6-7页
    第二节 芯片封装技术的迅猛发展第7-11页
        1.2.1 芯片封装的目的及发展历程第7-9页
        1.2.2 NAND芯片封装发展现状第9-11页
    第三节 芯片封装工艺综述第11-14页
    第四节 论文的主要研究内容和研究意义第14-15页
第二章 新型NAND芯片封装结构方案的提出第15-19页
第三章 新型NAND芯片工艺实施方案第19-24页
    第一节 新型NAND芯片封装工艺流程方案第19-20页
    第二节 晶圆减薄工艺机理与初始方案设计第20-21页
    第三节 芯片切割工艺机理与初始方案设计第21-22页
    第四节 引线键合工艺机理与初始方案设计第22-24页
第四章 NAND闪存芯片封装工艺问题解决方案第24-44页
    第一节 NAND封装工艺问题的提出第24-25页
    第二节 试验设计原理与JMP试验设计方法第25-28页
        4.2.1 试验设计方法原理第25-26页
        4.2.2 JMP试验设计与数据分析流程第26-28页
    第三节 晶圆减薄工艺的优化方案第28-34页
        4.3.1 芯片裂纹失效原因分析第28-30页
        4.3.2 芯片强度优化方案设计第30-34页
    第四节 芯片切割工艺的优化方案第34-39页
    第五节 试验设计与引线键合工艺优化第39-44页
第五章 NAND封装可靠性研究与优化方案第44-59页
    第一节 NAND封装可靠性问题的提出第44-45页
    第二节 柯肯达尔Kirkendall空洞失效研究与优化方案第45-54页
        5.2.1 柯肯达尔空洞失效原因分析第45-46页
        5.2.2 柯肯达尔空洞与IMC生长机理第46-48页
        5.2.3 柯肯达尔空洞失效优化方案第48-54页
    第三节 封装分层的优化方案第54-59页
第六章 总结与展望第59-61页
参考文献第61-63页
致谢第63-64页
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