SiO2基ITO/LaB6/ITO透明导电薄膜电极的制备及性能研究

ITO薄膜作为性能优良的透明导电薄膜和透明隔热材料,已广泛应用于平板显示器、透明视窗、太阳能电池等场合。而La B6纳米颗粒在近红外区域具有隔热作用,在透明隔热领域将会有巨大的市场需求,以弥补ITO薄膜在近红外区域阻隔效果差的不足。在此基础上,本文中通过磁控溅射技术在玻璃基底上首次制备出ITO/La B6/ITO复合薄膜,对其在透明导电薄膜领域的应用进行了探索。逐层的研究了热处理前后薄膜的组织结构对薄膜的生长的影响,逐层的研究了热处理前后薄膜的组织结构对薄膜光电性能的影响。利用SEM、AFM和XRD设备研究薄膜的生长情况,研究发现,热处理前,随着薄膜的层数的增加,薄膜的表面变得平坦,薄膜的粗糙度降低。热处理后,ITO薄膜由非晶转变为多晶,薄膜存在内应力,薄膜的粗糙度上升;随着薄膜的层数增加,薄膜的均匀性上升。研究薄膜的光学和电学性能发现,随着薄膜的的层数增加,薄膜的透过率和面阻下降;热处理后,薄膜的透过率和面阻得到改善,面载流子浓度和迁移率上升。热处理后,由于均匀平整的组织结构,在溅射时间为1min/5min/2min获得综合光电性能最优的ITO/La B6/ITO薄膜,其可见光内平均透过率为91.3%、面阻为23.0 ohm/sq。