提要 | 第4-8页 |
第一章 前言 | 第8-30页 |
1.1 传感器概述 | 第8-11页 |
1.2 气体传感器的重要性及分类 | 第11-14页 |
1.3 半导体气体传感器的研究现状及发展趋势 | 第14-20页 |
1.4 固体电解质型气体传感器的研究现状及发展趋势 | 第20-28页 |
1.5 本论文主要工作的结构体系 | 第28-30页 |
第二章 氧化物半导体气体传感器的敏感机理 | 第30-36页 |
2.1 半导体气敏材料的敏感机理 | 第30-34页 |
2.2 掺杂剂改善器件特性的机理 | 第34-36页 |
第三章 NiO基厚膜二氧化氮气体传感器 | 第36-48页 |
3.1 NiO材料的制备及表征 | 第39-41页 |
3.2 NiO基厚膜二氧化氮传感器的制作 | 第41-42页 |
3.3 NiO半导体NO_2 传感器的特性 | 第42-46页 |
3.4 NiO半导体NO_2 传感器的敏感机理 | 第46-47页 |
3.5 本章小结 | 第47-48页 |
第四章 NASICON材料的制备及表征 | 第48-54页 |
4.1 快离子导体制备方法概述 | 第48-49页 |
4.2 NASICON材料的制备 | 第49-51页 |
4.3 NASICON材料的表征 | 第51-53页 |
4.4 本章小结 | 第53-54页 |
第五章 固体电解质电位型气体传感器 | 第54-100页 |
5.1 固体电解质SO_2 传感器 | 第54-65页 |
5.1.1 ZnSnO_3 材料的制备及表征 | 第57-58页 |
5.1.2 固体电解质SO_2 传感器的制作 | 第58-59页 |
5.1.3 固体电解质SO_2 传感器的特性 | 第59-63页 |
5.1.4 固体电解质SO_2 传感器的敏感机理 | 第63-65页 |
5.2 固体电解质甲苯传感器 | 第65-74页 |
5.2.1 固体电解质甲苯传感器的制作 | 第67-68页 |
5.2.2 固体电解质甲苯传感器的敏感特性 | 第68-72页 |
5.2.3 固体电解质甲苯传感器的敏感机理 | 第72-74页 |
5.3 固体电解质NO传感器 | 第74-85页 |
5.3.1 基于NiWO_4 敏感电极的NO传感器 | 第76-81页 |
5.3.1.1 ABO_4 材料的制备及表征 | 第76-77页 |
5.3.1.2 基于NiWO_4 敏感电极的NO传感器的制作 | 第77-78页 |
5.3.1.3 基于NiWO_4 敏感电极的NO传感器的敏感特性 | 第78-80页 |
5.3.1.4 基于NiWO_4 敏感电极的NO传感器的敏感机理 | 第80-81页 |
5.3.2 基于Nb_2O_5 敏感电极的NO传感器 | 第81-85页 |
5.3.2.1 基于Nb_2O_5敏感电极的NO传感器的制作 | 第81页 |
5.3.2.2 基于Nb_2O_5 敏感电极的NO传感器的敏感特性 | 第81-83页 |
5.3.2.3 基于Nb_2O_5 敏感电极的NO传感器的敏感机理 | 第83-85页 |
5.4 固体电解质H2 S传感器 | 第85-93页 |
5.4.1 镍/钛氧化物材料的制备及表征 | 第87-88页 |
5.4.2 固体电解质硫化氢传感器的制作 | 第88页 |
5.4.3 固体电解质硫化氢传感器的敏感特性 | 第88-91页 |
5.4.4 固体电解质硫化氢传感器的敏感机理 | 第91-93页 |
5.5 固体电解质CO传感器 | 第93-98页 |
5.5.1 固体电解质CO传感器的制作 | 第95页 |
5.5.2 固体电解质CO传感器的敏感特性 | 第95-97页 |
5.5.3 固体电解质CO传感器的敏感机理 | 第97-98页 |
5.6 本章小结 | 第98-100页 |
第六章 固体电解质电流型NO_2 气体传感器 | 第100-104页 |
6.1 固体电解质电流型NO_2 传感器的制作 | 第100页 |
6.2 固体电解质电流型NO_2 传感器的敏感特性 | 第100-102页 |
6.2.1 不同掺杂剂对器件敏感特性的影响 | 第101-102页 |
6.2.2 SrCO_3 掺杂比例对器件敏感特性的影响 | 第102页 |
6.3 固体电解质电流型NO_2 传感器的敏感机理 | 第102-103页 |
6.4 本章小结 | 第103-104页 |
第七章 固体电解质双功能CO-C_7H_8气体传感器 | 第104-110页 |
7.1 敏感电极材料的制备及表征 | 第104-105页 |
7.2 双功能CO-C_7H_8 传感器的制作 | 第105-106页 |
7.3 双功能CO-C_7H_8 传感器的敏感特性 | 第106-109页 |
7.3.1 双功能传感器在不同工作温度下对CO-C_7H_8 的浓度特性 | 第106-107页 |
7.3.2 双功能CO-C_7H_8 传感器的选择特性 | 第107-108页 |
7.3.3 双功能CO-C_7H_8 传感器的响应恢复特性 | 第108页 |
7.3.4 双功能CO-C_7H_8 传感器的敏感机理 | 第108-109页 |
7.4 本章小结 | 第109-110页 |
第八章 结论 | 第110-113页 |
参考文献 | 第113-131页 |
作者在攻读博士期间发表的论文 | 第131-134页 |
致谢 | 第134-135页 |
中文摘要 | 第135-137页 |
Abstract | 第137-139页 |