切削液对光学玻璃精密切削临界切削条件影响的研究

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光学玻璃作为典型的脆性材料广泛地用于航空航天、微电子、光学工业等诸多高新技术领域;但其因硬度高、断裂韧性低而导致可加工性较差。目前,光学玻璃元器件的加工仍采用研磨、抛光等传统工艺,这些方法存在低效率、高成本等不足。随着精密超精密加工技术的发展,金刚石超声振动切削因自身的技术优势已逐渐成为脆性材料精密加工的一个主要研究方向。本论文主要研究切削液对光学玻璃精密切削临界切削条件的影响,试图通过切削液对材料表面的改性作用来提高光学玻璃精密切削的临界切削深度,达到高效加工和改善表面加工质量的目的。利用改性的工艺手段来提高光学玻璃的可加工性,既可提高塑性切削的临界切深,又能有效地降低对精密加工设备的要求。本文首先对脆性材料的塑性域精密切削技术、超声振动加工技术的发展及切削液的作用原理研究做了较全面的综述,总结了国内外研究状况。在分析光学玻璃表面结构和组成特性的基础上,从玻璃表面吸附与侵蚀原理出发,结合光学玻璃精密切削的实际需求,完成了切削液的选择。分组进行了切削液作用下三种光学玻璃的压痕试验,通过比较分析表面压痕尺寸、裂纹尺寸、材料表层硬度等数据及压痕形貌,对切削液在试验中的作用原理加以阐述。进而完成了光学玻璃的超声振动刻划试验,由共聚焦显微镜测得到了光学玻璃在不同切削液作用下的刻划形貌及临界刻划深度值。同时,结合压痕试验的结果,确定了三种光学玻璃较为理想的切削液参数。最后,在高精度车床上完成了光学玻璃精密切削的对比试验。试验结果表明,选定的切削液在一定程度上提高了光学玻璃的表面加工质量。并结合玻璃表面侵蚀原理、光学玻璃组成理论,对切削液的作用机理作了相关解释。
摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-17页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第9-10页
    1.2 脆性材料塑性域精密切削技术的综述第10-15页
        1.2.1 脆性材料塑性域切削理论的发展第10-13页
        1.2.2 超声振动切削加工技术的发展第13-15页
        1.2.3 切削液的作用原理及相关研究第15页
    1.3 本课题的主要研究内容第15-17页
第2章 切削液的设计与选择第17-25页
    2.1 引言第17页
    2.2 玻璃表面结构与特性第17-19页
    2.3 玻璃表面吸附与侵蚀原理第19-22页
        2.3.1 玻璃表面的吸附原理第19页
        2.3.2 玻璃表面的侵蚀原理第19-20页
        2.3.3 玻璃表面的水解第20-21页
        2.3.4 玻璃表面受碱的侵蚀第21-22页
        2.3.5 玻璃表面受酸的侵蚀第22页
    2.4 切削液的设计选用第22-24页
        2.4.1 切削液的设计选用原则第22-23页
        2.4.2 中性切削液第23页
        2.4.3 碱性切削液的选用第23页
        2.4.4 酸性切削液的选用第23-24页
    2.5 本章小结第24-25页
第3章 光学玻璃的压痕试验研究第25-39页
    3.1 引言第25页
    3.2 脆性材料压痕裂纹扩展机理的研究第25页
    3.3 光学玻璃压痕试验的方案设计第25-26页
    3.4 光学玻璃的压痕试验结果及分析第26-37页
        3.4.1 BK7 的压痕试验结果及分析第26-30页
        3.4.2 SF6 的压痕试验结果及分析第30-33页
        3.4.3 Soda-lime的压痕试验结果及分析第33-37页
        3.4.4 压痕试验试验结果综合分析第37页
    3.5 本章小结第37-39页
第4章 光学玻璃的超声振动变切深刻划试验的研究第39-50页
    4.1 引言第39页
    4.2 超声振动变切深刻划试验的设计第39-40页
    4.3 超声振动变切深刻划试验结果及分析第40-49页
        4.3.1 BK7 的变切深刻划试验结果分析第41-44页
        4.3.2 SF6 的变切深刻划试验结果分析第44-46页
        4.3.3 Soda-lime的变切深刻划试验结果分析第46-49页
    4.4 本章小结第49-50页
第5章 光学玻璃的超声振动精密切削试验研究第50-58页
    5.1 引言第50页
    5.2 试验参数的确定第50-51页
        5.2.1 切削液参数的确定第50页
        5.2.2 切削参数的确定第50-51页
    5.3 超声振动切削试验结果及分析第51-57页
        5.3.1 BK7 的切削试验结果分析第51-53页
        5.3.2 SF6 的切削试验结果分析第53-55页
        5.3.3 Soda-lime的切削试验结果分析第55-57页
    5.4 本章小结第57-58页
结论第58-60页
参考文献第60-65页
致谢第65页
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