高温压力传感器的特性测试技术研究

本文主要是对一个以硅压阻式压力传感器为核心敏感元件、且具有特殊的隔热、储热和传压结构的高温压力传感器进行特性测试技术的研究，根据传感器的原理、实际测试的环境和目的不同，高温压力传感器的测试技术及方法也不同。为了确保其压力测试不失真，本文从静态和动态两方面分析其测试的方法，并完成测试及标定，最终获得静态和动态模型，得出高温压力传感器的各项性能参数；为了确保传感器在高温环境下工作稳定，且精度较高，本文通过与温度传感器及单片机技术相结合，设计了传感器的测试电路，降低了温度对传感器测试的干扰，完成了传感器的高温可靠性测试，实现了信号的准确采集。高温压力传感器动态测试方面，主要通过分析传感器的动态测试技术及频率特性，采用适合高频压力传感器的动态测试法——激波管法，设计了传感器的测试电路。根据输出确定传感器的频率响应特性及主要动态参数，最后采用FFT算法分析得出传感器的频率特性，也得出动态测试系统中传压管对其的影响。高温压力传感器静态测试方面，主要通过理论分析和应用于高温低气压环境，搭建了一个简单可靠的压力测试系统，通过试验，得出传感器测试量与标准压力值间的关系，最后得出传感器具有良好的静态特性，及良好的线性度、稳定度、重复试性、迟滞性等。高温压力传感器的高温可靠性测试方面，主要分析了温度对传感器工作稳定性及测试精度的影响，根据实际应用的情况，结合温度传感器与单片机技术，提出了压力传感器压力温漂值的弥补法，实现了高温压力传感器的高温可靠性测试，得出了温度对其特性指标的影响，确保了传感器在一定时间里工作正常且稳定可靠。结语，概括全文，对高温压力传感器及其特性测试技术提出拓展。