在众多不同驱动原理的微型泵中,压电泵是人们基于压电驱动原理开发的一种新结构微型泵,它是压电驱动器的一个重要分支。压电泵是一种新型流体驱动器,它不需要附加驱动电机,而是利用压电材料的逆压电效应使压电振子产生变形,再由变形产生泵腔的容积变化实现流体输出。本文主要研究压电晶片驱动式主动阀压电泵,属于压电驱动式容积泵的一种。通过主动控制单向阀的开启和关闭,可以减少单向阀的滞后现象,提高压电泵的工作频率,研制出具有更高输出能力的压电泵。因此,压电晶片驱动式主动阀压电泵具有很大的研究价值和研究空间。本文具体研究内容如下:1.压电振子是压电晶片驱动式主动阀压电泵的主要部件,因此有必要分析压电振子的基本特性。运用薄板振动理论及压电学相关知识,推导出压电振子变形量公式,并对压电振子变形量进行了实验测试。利用解析法和有限元方法对压电振子进行了振动和模态分析,并通过实验测试了其振动特性。2.研制具有快速反应能力的压电晶片驱动式主动阀。其中包括压电晶片驱动式主动阀开启(关闭)的驱动力元件设计和选择;压电晶片驱动式主动阀结构的设计.3.建立了圆形压电晶片式主动阀的结构数学模型,并利用ANSYS软件分析了阀口厚度w和阀口间隙hv对阀腔内流场分布和压强损耗的影响,为优化圆形压电晶片式主动阀的结构提供了依据。4.对圆形压电晶片式主动阀压电泵进行了工作性能分析。通过实验研究了压电泵的工作效率,驱动电压、阀口厚度、阀口间隙等因素对压电泵输出流量的影响规律。